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HORIBA堀場(chǎng)PV-1000壓電閥北崎供應(yīng)
HORIBA堀場(chǎng)PV-1000壓電閥北崎供應(yīng)
壓電閥
這是一種快速響應(yīng)閥，用于使用來(lái)自外部設(shè)備的控制信號(hào)來(lái)控制氣體流量或壓力。 金屬隔膜和金屬 O 形圈。 氣體接觸部分采用全金屬結(jié)構(gòu)，潔凈。 不僅可以控制氣體的流體，還可以控制液體的流體。
電路使用高精度壓力傳感器和高分辨率和快速響應(yīng)的壓電閥。 可通過(guò)各種外部信號(hào)遠(yuǎn)程控制，壓力自動(dòng)調(diào)節(jié)。
由于氣體接觸部分采用全金屬，死體積*小，因此非常適合腐蝕性氣體和低蒸氣壓氣體。
| PV-1000 系列 | |
|---|---|
| 流量范圍 |
CCM 1/2/5 LM（入口大氣壓，出口真空，N2轉(zhuǎn)換） |
| 流量控制范圍 | 滿量程的 2% 至 * |
| 閥門方式 | 常開/常閉型 |
| 控制輸入 1 | 0?5VDC 直流電 |
| 反應(yīng) | 0.5 秒內(nèi) |
| 工作溫度 | 0?50°C |
| 工作壓力 | * 300kPa |
| 壓力 | 1MPa |
| 泄漏標(biāo)準(zhǔn)品 | 5×10-12帕米3（他） |
| PV-2000 系列 | |
|---|---|
| 流量范圍 | 10/20 LM （入口大氣壓、出口真空、N2轉(zhuǎn)換） |
| 流量控制范圍 | 滿量程的 2% 至 * |
| 閥門方式 | 常開/常閉型 |
| 控制輸入 1 | 0?5VDC 直流電 |
| 反應(yīng) | 0.5 秒內(nèi) |
| 工作溫度 | 0?50°C |
| 工作壓力 | * 300kPa |
| 壓力 | 1MPa |
| 泄漏標(biāo)準(zhǔn)品 | 5×10-12帕米3（他） |
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