HORIBA掘場PD10掩模異物檢查器北崎供應
HORIBA掘場PD10掩模異物檢查器北崎供應
PD10 重新設計了整個平臺，包括光學元件、載物臺設計和核心軟件。 該分析儀的高可用性和長期穩(wěn)定性得到了保留，同時作的便利性也得到了極大的提高。 增強的自動化增強功能，例如具有可靠光學元件的“Scan”、具有新功能的“Review”以及與創(chuàng)新傳感器相結合的“Analysis”，可實現智能工廠支持。
| 型 | PD10 | |
| 大小 | （寬） x （深） x （高） | 1,000 x 1,850 x 1,600 毫米 |
| 重量 | 約 950 公斤 | |
| 敏感性 | 陣列曲面 | 0.5 μm / 0.35 μm （0.1 μm： 用于掩模落料機）*1 *2 |
| 玻璃表面 | 5.0 μm（0.5 μm - ： 高靈敏度選項）*1 *2 | |
| Pellicle 表面 | 10.0 μm （0.5 μm - ： 高靈敏度選項）*1 *2 | |
| 光源 | 633 nm He-Ne 激光器或 488 nm 固定激光器 | |
| 標線大小 | 兼容 5 英寸 ~ 9 英寸 | |
| 箱式開關柜 | 兼容 SMIF POD 和其他情況 | |
| 測量時間 | 約 12 分鐘（測量開始 ~ 數據顯示、6 英寸 2 面檢查） | |
| 面板表面處理 | SUS 面板 | |
| 設施環(huán)境 | 清潔 | 6 級 ISO 標準 |
| 溫度 | 23 +/- 1°C | |
| 效用 | 權力 | AC200~240 V，2 kVA 50/60Hz |
| 真空源 | 壓力：-80 kPa 或更低 | |
| 壓縮空氣 | 0.6 MPa ~ 0.7 MPa | |
|
新功能/選項 |
標線邊緣處理 | 是的 |
| 自動捕獲 / 自動填充 | 是的 | |
| 數據瀏覽功能 | 是的 | |
| 減少假陽性 | 是的 | |
*1 PSL 顆粒等效靈敏度
*2 檢測靈敏度因樣品的類型和條件而異。 我們建議在購買前進行樣品評估。
在手機上查看
京公網安備 11010802023672號
溫馨提示：為規(guī)避購買風險，建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。