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HORIBA非接觸式化學(xué)藥液濃度計CS-900補償氣泡影響

發(fā)布時間:2025/02/13 14:42:38 發(fā)布廠商:北崎國際貿(mào)易(北京)有限公司 >> 進入該公司展臺


CS-900

CS-900

非接觸式化學(xué)藥液濃度計

下一代濕法制程。HORIBA 提供提升產(chǎn)能的化學(xué)藥液濃度管理設(shè)備,以幫助改進制程。

為達到半導(dǎo)體濕法制程中所需的嚴(yán)格化學(xué)藥液濃度控制,HORIBA 通過設(shè)計緊湊設(shè)備,以及通過其原有傳感器設(shè)計保持穩(wěn)定測量和確保操作人員安全,實現(xiàn)更強大功能以滿足需求。

事業(yè)部: 半導(dǎo)體
產(chǎn)品分類: 濕法過程控制
制造商: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

全部無接觸,高度穩(wěn)定

從外部將傳感器直接連接到 PFA 管路,實現(xiàn)零污染。這消除了在安裝傳感器時進行管路施工的要求,從而減少化學(xué)事故。此外,通過升級光學(xué)系統(tǒng),設(shè)備變得更加緊湊,同時保留 CS-600F*1 的原始規(guī)格。

高質(zhì)量、穩(wěn)定測量

  • 零污染
  • 配備溫度補償功能,實現(xiàn)穩(wěn)定測量
  • 配備 HORIBA 原始算法,補償氣泡影響
  • 重復(fù)性和穩(wěn)定性與常規(guī)的 CS-600*1 相同

 

抑制振動效應(yīng)

  • HORIBA 采用抗錯位強的光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu),與 HORIBA 的原始管路結(jié)構(gòu)協(xié)同配合。

 

節(jié)省空間

  • 光源和光學(xué)傳感器已集成至樣品單元。

  • 平板顯示器(9.6cm x 9.6cm)

光源壽命更長

  • 使用 LED 燈,延長使用壽命(5 年質(zhì)保期)

提高工作安全性

  • 每半年一次的背景校正補償周期

  • 安裝產(chǎn)品時無需安裝管路,有助于減少化學(xué)藥液泄漏等事故。

*1 CS-600 是 HORIBA 的光纖型化學(xué)藥液濃度計。

不使用光纖的光學(xué)設(shè)計和主機,加上傳感器的縮小提升了安裝的自由度

對于寬溫度范圍(20℃ 至 80℃)的化學(xué)藥液,可進行直接、穩(wěn)定的測量

穩(wěn)定性

測量條件
測量頻率:每 3 秒
移動平均數(shù):16 次
溫度:室溫
管徑:3/4 英寸

初始樣品濃度
NH3 : 0.95%    H2O2 : 5.15%    H2O: 93.9%

測量結(jié)果
樣品(實際液體)測量 1 小時,展示出良好的穩(wěn)定性。

易于裝卸


HORIBA非接觸式化學(xué)藥液濃度計CS-
CS-900
HORIBA日本堀場
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