日本HORIBA堀場LG-100激光氣體分析儀北崎供應(yīng)
日本HORIBA堀場LG-100激光氣體分析儀北崎供應(yīng)
激光氣體分析儀
LG-100 系列基于 HORIBA 專有的紅外氣體分析技術(shù) IRLAMTM(紅外激光吸收調(diào)制)實(shí)時(shí)測量半導(dǎo)體制造刻蝕過程中產(chǎn)生的廢氣成分 SiF4,并減少 SiF 的用量4可以從更改中檢測端點(diǎn)。
山高SANKO(代理)、東機(jī)產(chǎn)業(yè)TOKI(代理)、索尼克SONIC(代理)、東日技研DIT(代理)、杉山電機(jī)SUGIYAMA(代理)、愛安德AND(廠家合作)、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA(代理)
備件設(shè)備相關(guān):
柴田SIBATA(代理)、 壺坂TSUBOSAKA(代理)、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON(代理)、武藏MUSASHI(代理)、尼得科NIDEC(代理)、MRM(代理)、坂口電熱SAKAGUCHI(代理)、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI(廠家合作)、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機(jī)理化EYELA、科庫森KOKUSAN
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