• 多氣體監(jiān)測（支持 SiF4 和 CF4） (IR-422)
• 高靈敏度
• 氣室加熱功能*可達 180℃
• 多重顯示
• 模擬/數(shù)字通信

IR-400 實時終點監(jiān)測的優(yōu)勢

• 減少腔室清洗時間
• 減少清洗氣體使用量
• 可重復和可預測的清洗過程
• 延長腔室組件壽命

應用示例 

• 監(jiān)控室排氣管線

測量技術

可靠、高性能
非分散紅外吸收法（NDIR）

IR-300 系列采用的紅外吸收法利用測量紅外光源發(fā)出的紅外光中氣體分子吸收的原理。將吸收了被測氣體的樣品輸出與無吸光度的參考輸出進行對比，并將結果轉換成氣體濃度。使用這種雙光束方法可以獲得長期穩(wěn)定的測量結果。

光學系統(tǒng)由光源、氣室和雙光束檢測器組成。雙光束檢測器的穩(wěn)定性已得到 40 多年的驗證。