響應(yīng)時(shí)間為 200 毫秒的快速質(zhì)量流量控制器。

通過(guò)熱傳感器實(shí)現(xiàn) 100 毫秒（典型值）的高速流量控制。 LINTEC 的非接觸式熱式流量傳感器和壓電控制閥可實(shí)現(xiàn)腐蝕性氣體的快速流量控制。

它具有 1.0% S.P. 的高精度±流量精度，并且可以從 DeviceNet 和 EtherCAT 中選擇數(shù)字通信方式。

MC-7000 系列

長(zhǎng)處

• 快速流量控制：200 毫秒
• 精度±1%S.P.
• 工作溫度：5~50°C
• 金屬密封件
• 清潔（保證顆粒）
• 環(huán)境溫度補(bǔ)償傳感器
• EtherCAT 通信
• DeviceNet? 通信

快速流量控制

從頭開始控制脈沖響應(yīng)性

使用示例

高速蝕刻工藝

在半導(dǎo)體制造工藝中，需要在實(shí)現(xiàn)小型化的同時(shí)提高吞吐量。 對(duì)控制反應(yīng)氣體流速以縮短流量控制啟動(dòng)時(shí)間的質(zhì)量流量控制器的需求也越來(lái)越大。 高速質(zhì)量流量控制器 [MC-7000] 是流量傳感器和流量測(cè)量氣體不接觸的非接觸式熱式流量傳感器，可實(shí)現(xiàn) 200 毫秒的高速響應(yīng)。 非接觸式設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)腐蝕性氣體流量測(cè)量的高速流量控制。

規(guī)格表